빡공 스터디 26기를 신청하고 완전히 수료했습니다!! 아래는 6~10일차 동안의 학습 인증 사진과 데일리 미션입니다. (1) 스피터 식각이 무엇인지 그 정의와 특징을 정리해보세요. 스피터 식각은 미세 형상 식각에 적용되는 건식각이다. 웨이퍼를 음극에 얹어 플라즈마에 Ar+인 불활성 기체를 주입하여 Ar+에 의한 스피터링을 이용해 식각하는 것이다. 이온에 의한 반응이기 때문에 식각제는 이온을 사용하고, 비등방성(이방성)인 과정이기 때문에 수직으로 식각된다. 선택비가 나쁘기 때문에 모든 물질이 세정되기 때문에 via를 전세정 하는데 사용된다. (2) 식각 공정의 주요 문제점들에 대해 정리해보세요. 식각 공정은 두 개로 나뉜다. 첫번째로 습식 식각은 액상 화공약품을 사용한다. 이는 등방성, 표면장력으로 인해 ..
