흔한 전자공학도의 필기노트

안녕하세요!! 지난 (1)편에 이어 photolithgraphy에 대해 이어서 정리해 보려 합니다. 2023.02.06 - [전자공학과 전공../반도체 공정 및 응용] - [반도체공정및응용] Photolithography (1) [반도체공정및응용] Photolithography (1) 안녕하세요! 이번 글은 Photolithography에 대한 내용에 대해 작성해 보려 합니다! 이부분 강의가 2주분량...(61페이지)였어서 조금 길 것 같아요. 그래서 두 파트로 나누어 진행하려 합니다! 너무 길어 electronics-bani.tistory.com 이번에는 Resolution과 DOF에 관해 이야기 해보겠습니닷! Optics - Basic & Diffraction re..

안녕하세요! 이번 글은 Photolithography에 대한 내용에 대해 작성해 보려 합니다! 이부분 강의가 2주분량...(61페이지)였어서 조금 길 것 같아요. 그래서 두 파트로 나누어 진행하려 합니다! 너무 길어서 보기 힘들더라구요ㅠ (1)에서는 전반적인 photolithography 과정에 대해 알아봅시다! 전반적인 과정 Preview Photolithography에 대한 자세한 내용을 살펴보기 전에, 전반적인 내용은 위와 같습니다. 한줄로 정리하면, "wafer의 surface에 PR을 이용해 mask/reticle pattern의 design을 transfer하는 patterning process"라고 할 수 있습니다! 자세한 내용은 아래에 차차 다루어 보도록 하겠습니다 :) < Photores..

안녕하세요! 3학년 2학기 종강 후, '반도체 공정 및 응용' 수업에대한 내용 정리를 해보려 합니다. 오늘 글은 반도체 공정 과정에 대한 전반적인 내용을 간단히 다루고 이후 글에서 각각 과정에 대해 자세히 다뤄보겠습니다! '반도체 공정 및 응용' 과목의 전체 내용을 축약해둔 강의였다보니, 매우 짧고 간단하게 정리했습니다..!! 1. Silicon Wafer 모래 형태의 규소 Si는 sand 형태로 존재하고 있습니다. 여기서 Si만을 추출하기 위해 고온으로 가열하면 Metallic grade Si(MGS)를 만들어 낼 수 있는데, 이는 전기적으로 사용할 수 없기 때문에 Electronic grade Si(EGS) 형태로 제작하여 사..

안녕하세요!! 이번에 새로 듣는 과목인 '반도체 소자 및 설계'에 대한 정리를 시작합니다! 중간고사 기간에 필기 정리를 한 뒤에 한번 더 줄글로 정리해 보겠습니다 '~' 이번 글은 'Fabrication Process'로, 물리전자2 처음에도 배웠던 내용입니다ㅎ 다음 학기에 배울 반도체 공정 수업에서 보다는 얕은 지식이지만! 열심히 한번 써보겠습니다..ㅎㅎㅠ MOSFET 복습 공정 과정을 알아보기 전에 공정하는 물질인 MOSFET에 대해 먼저 복습하고 넘어가봅시다! MOSFET의 구조는 위와 같고, Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor를 의미합니다. 이때 Metal Oxide Semiconductor 는 gate stack의 구조를 말하고, Field ..

안녕하세요 바니입니다 :) 오늘은 물리전자II 과목의 Fabrication Process 에 대해 이야기 해보려 합니다! 각 공정 과정에 대한 깊은 설명이 아니라 뒷부분에 나오는 p-n junction을 만들기 위한 과정을 설명하려는 것 이기 때문에, 간단하게 설명하고 넘어가려 합니다ㅎㅎ. 공정 과정에 대한 간단한 설명 Thermal Oxidation은 온도를 올려 열 에너지를 생성해 Si wafer을 SiO_2(이산화 규소)로 만드는 과정입니다. 이 과정은 Vertical furnace(수직의 용광로)에 Si wafer를 넣어 고온(열 E)과 O_2 를 반응시켜 SiO_2를 만들게 됩니다. RTP는 열을 가해주는 공정을 빠르게/짧게 진행한다는 것을 말합니다. 열을 가하게 되면 내가 원하는 design과..