안녕하세요! 오늘은 반도체 공정 과정 중 Oxidation에 대해 블로깅 해보려 합니다. 이부분 부터 수학적 수식을 많이 배워서 그부분을 정리하기엔 시간이 많이 걸릴 것 같아 필기내용으로 대체합니다! Silicon Dioide (SiO2) SiO2는 매우 쉽게 온도만으로 Si위에 올릴 수 있습니다. 그렇기 때문에 SiO2의 Thermally grown장점들을 다음과 같이 말할 수 있습니다. ⅰ 매우 좋은 insulator ⅱ 높은 breakdown voltage ⅲ 공기중 안정적, reproducible(만들다 지웠다 쉬움) -> 생산성이 뛰어남 ⅳ common impurity(B, P, As, Pb)에 mask로 사용하기 좋음 ⅴ Si와 SiO2 사이의 etching selectivit..