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Oxidation 3

[반도체공정및응용] Oxidation

안녕하세요! 오늘은 반도체 공정 과정 중 Oxidation에 대해 블로깅 해보려 합니다. 이부분 부터 수학적 수식을 많이 배워서 그부분을 정리하기엔 시간이 많이 걸릴 것 같아 필기내용으로 대체합니다! Silicon Dioide (SiO2) SiO2는 매우 쉽게 온도만으로 Si위에 올릴 수 있습니다. 그렇기 때문에 SiO2의 Thermally grown장점들을 다음과 같이 말할 수 있습니다. ⅰ 매우 좋은 insulator ⅱ 높은 breakdown voltage ⅲ 공기중 안정적, reproducible(만들다 지웠다 쉬움) -> 생산성이 뛰어남 ⅳ common impurity(B, P, As, Pb)에 mask로 사용하기 좋음 ⅴ Si와 SiO2 사이의 etching selectivit..

[반도체 공정 및 응용] Semiconductor Fabrication & Applications

안녕하세요! 3학년 2학기 종강 후, '반도체 공정 및 응용' 수업에대한 내용 정리를 해보려 합니다. 오늘 글은 반도체 공정 과정에 대한 전반적인 내용을 간단히 다루고 이후 글에서 각각 과정에 대해 자세히 다뤄보겠습니다! '반도체 공정 및 응용' 과목의 전체 내용을 축약해둔 강의였다보니, 매우 짧고 간단하게 정리했습니다..!! 1. Silicon Wafer 모래 형태의 규소 Si는 sand 형태로 존재하고 있습니다. 여기서 Si만을 추출하기 위해 고온으로 가열하면 Metallic grade Si(MGS)를 만들어 낼 수 있는데, 이는 전기적으로 사용할 수 없기 때문에 Electronic grade Si(EGS) 형태로 제작하여 사..

[반도체소자및설계] Fabrication Process

안녕하세요!! 이번에 새로 듣는 과목인 '반도체 소자 및 설계'에 대한 정리를 시작합니다! 중간고사 기간에 필기 정리를 한 뒤에 한번 더 줄글로 정리해 보겠습니다 '~' 이번 글은 'Fabrication Process'로, 물리전자2 처음에도 배웠던 내용입니다ㅎ 다음 학기에 배울 반도체 공정 수업에서 보다는 얕은 지식이지만! 열심히 한번 써보겠습니다..ㅎㅎㅠ MOSFET 복습 공정 과정을 알아보기 전에 공정하는 물질인 MOSFET에 대해 먼저 복습하고 넘어가봅시다! MOSFET의 구조는 위와 같고, Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor를 의미합니다. 이때 Metal Oxide Semiconductor 는 gate stack의 구조를 말하고, Field ..

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