안녕하세욥 오늘 글은 반도체 공정 및 응용에서 deposition에 대한 이야기를 해보려합니다! 조금 내용이 길어질 것 같아요.. 그래도 열심히 써보겠습니닷! Vacuum vacuum은 진공 상태를 일컫는 말입니다. 불순물의 영향이 없을수록 고진공 상태를 말하고, 1 Atm = 760 Torr라고 합니다. 이러한 진공도의 기준은 아래와 같습니다. - Low Vacuum : > 10^-3 Torr - High Vacuum : < 10^-3 Torr - Very High Vacuum : < 10^-6 Torr - Ultra High Vacuum : < 10^-9 Torr vacuum은 high vacuum일수록 contamination없이 유지 가능하고 전자와 분자의 mean free p..