안녕하세요! 이번 게시글은 ion implantation에 대해 이야기 해보려 합니다. 이번에도 수식이 조금 있어서 그부분은 필기로 대체하고, 정리할 수 있는건 타이핑해서 최대한 정리해 보겠습니다!! diffusion에 이어 ion implantation도 impurity doping의 한 방법입니다. 위 그림과 같이 가속화된 dopant를 넣어주고, 일정 깊이에서 최대 농도를 가지는, Gaussian 분포를 가집니다. Ion Implanter - High voltage Particle Accelerator 위는 ion implantation을 진행하는 implanter입니다. 각 번호로 매겨진 부분에 대해 이야기 해보겠습니다. ①..
