안녕하세요! 이번 게시글은 Wafer와 wafer를 Cleaning하는 방법들에 대해 설명해 보려 합니다. Wafer에 사용되는 Si의 성질과 같은 간단한 설명부터 Si가 wafer로 변화는 과정, 그리고 Cleaning까지 설명하겠습니다! Silicon의 특징 Wafer에 주로 사용하는 물질은 실리콘(Si)입니다. 이러한 Silicon의 특징은 다음과 같습니다. - SiO2의 형태로 많이 존재 → 비용이 낮음. - SiO2(Silicon dioxide) : 공기 중 매우 안정적이고 strong dielectric을 가짐. 온도 가열시 쉽게 자라는 특성 가짐. - 높은 bandgap(1.12eV) : operating temperature가 높고 breakdown voltage가 높..
