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Fabrication process 2

[반도체소자및설계] Fabrication Process

안녕하세요!! 이번에 새로 듣는 과목인 '반도체 소자 및 설계'에 대한 정리를 시작합니다! 중간고사 기간에 필기 정리를 한 뒤에 한번 더 줄글로 정리해 보겠습니다 '~' 이번 글은 'Fabrication Process'로, 물리전자2 처음에도 배웠던 내용입니다ㅎ 다음 학기에 배울 반도체 공정 수업에서 보다는 얕은 지식이지만! 열심히 한번 써보겠습니다..ㅎㅎㅠ MOSFET 복습 공정 과정을 알아보기 전에 공정하는 물질인 MOSFET에 대해 먼저 복습하고 넘어가봅시다! MOSFET의 구조는 위와 같고, Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor를 의미합니다. 이때 Metal Oxide Semiconductor 는 gate stack의 구조를 말하고, Field ..

[ 물리전자II ] Fabrication Process : 공정 과정

안녕하세요 바니입니다 :) 오늘은 물리전자II 과목의 Fabrication Process 에 대해 이야기 해보려 합니다! 각 공정 과정에 대한 깊은 설명이 아니라 뒷부분에 나오는 p-n junction을 만들기 위한 과정을 설명하려는 것 이기 때문에, 간단하게 설명하고 넘어가려 합니다ㅎㅎ. 공정 과정에 대한 간단한 설명 Thermal Oxidation은 온도를 올려 열 에너지를 생성해 Si wafer을 SiO_2(이산화 규소)로 만드는 과정입니다. 이 과정은 Vertical furnace(수직의 용광로)에 Si wafer를 넣어 고온(열 E)과 O_2 를 반응시켜 SiO_2를 만들게 됩니다. RTP는 열을 가해주는 공정을 빠르게/짧게 진행한다는 것을 말합니다. 열을 가하게 되면 내가 원하는 design과..

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