흔한 필기노트

안녕하세요!! 지난 (1)편에 이어 photolithgraphy에 대해 이어서 정리해 보려 합니다. 2023.02.06 - [전자공학과 전공../반도체 공정 및 응용] - [반도체공정및응용] Photolithography (1) [반도체공정및응용] Photolithography (1) 안녕하세요! 이번 글은 Photolithography에 대한 내용에 대해 작성해 보려 합니다! 이부분 강의가 2주분량...(61페이지)였어서 조금 길 것 같아요. 그래서 두 파트로 나누어 진행하려 합니다! 너무 길어 electronics-bani.tistory.com 이번에는 Resolution과 DOF에 관해 이야기 해보겠습니닷! Optics - Basic & Diffraction re..

안녕하세요!! 오늘 반소 게시글은 layout에 관한 내용입니다. 제가 가장 재밌게 배웠던 부분인데, layout에 대해 많은 그림들과 같이 알아보도록 하겠습니다!! Photo mask & Layout photo mask는 photolithography lecture를 말하고, 이를 pattern화 한 것이 layout이 됩니다. 즉, layout은 회로도를 원하는 모양으로 만들기 위한 2차원의 그림을 말하는 것입니다. 이 layout은 design rule에 따라 제작됩니다. layout은 transistor의 사이즈, 배선의 간격/깊이 등을 결정하기 위해 minimum dimension을 정해둡니다. minimun dimension은 minimum rule을 바탕으로한 최소한의 면적 구조 layout..