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Wafer 2

[반도체 공정 및 응용] Wafer&Cleaning

안녕하세요! 이번 게시글은 Wafer와 wafer를 Cleaning하는 방법들에 대해 설명해 보려 합니다. Wafer에 사용되는 Si의 성질과 같은 간단한 설명부터 Si가 wafer로 변화는 과정, 그리고 Cleaning까지 설명하겠습니다! Silicon의 특징 Wafer에 주로 사용하는 물질은 실리콘(Si)입니다. 이러한 Silicon의 특징은 다음과 같습니다. - SiO2의 형태로 많이 존재 → 비용이 낮음. - SiO2(Silicon dioxide) : 공기 중 매우 안정적이고 strong dielectric을 가짐. 온도 가열시 쉽게 자라는 특성 가짐. - 높은 bandgap(1.12eV) : operating temperature가 높고 breakdown voltage가 높..

[반도체소자및설계] Fabrication Process

안녕하세요!! 이번에 새로 듣는 과목인 '반도체 소자 및 설계'에 대한 정리를 시작합니다! 중간고사 기간에 필기 정리를 한 뒤에 한번 더 줄글로 정리해 보겠습니다 '~' 이번 글은 'Fabrication Process'로, 물리전자2 처음에도 배웠던 내용입니다ㅎ 다음 학기에 배울 반도체 공정 수업에서 보다는 얕은 지식이지만! 열심히 한번 써보겠습니다..ㅎㅎㅠ MOSFET 복습 공정 과정을 알아보기 전에 공정하는 물질인 MOSFET에 대해 먼저 복습하고 넘어가봅시다! MOSFET의 구조는 위와 같고, Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor를 의미합니다. 이때 Metal Oxide Semiconductor 는 gate stack의 구조를 말하고, Field ..

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