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Diffusion 2

[반도체공정및응용] Diffusion

안녕하세요! 오늘 써볼 게시글은 diffusion에 관련된 내용입니다. diffusion에도 수식적 내용이 많이 있는데, 중간 중간 수식적인 부분과 예제 부분은 필기로 대체하고, 주요 부분만 정리를 최대한 진행해보려 합니다!! 우선 impurity doping에 대해 짚고 넘어갑시다. 소자에 Vth를 adjustment해주기 위해서 body에 추가적인 doping을 진행시켜 전기적 특성을 바꾸어줍니다. 이렇게 추가적 doping은 N-type을 위해서 Doner인 5족 원소 P, As를, P-type을 위해 Acceptor인 3족 원소 B를 doping해 줍니다. 이러한 doping방법으로는 오늘 설명할 diffusion과 다음 글이 될 ion implantation이..

[반도체소자및설계] Fabrication Process

안녕하세요!! 이번에 새로 듣는 과목인 '반도체 소자 및 설계'에 대한 정리를 시작합니다! 중간고사 기간에 필기 정리를 한 뒤에 한번 더 줄글로 정리해 보겠습니다 '~' 이번 글은 'Fabrication Process'로, 물리전자2 처음에도 배웠던 내용입니다ㅎ 다음 학기에 배울 반도체 공정 수업에서 보다는 얕은 지식이지만! 열심히 한번 써보겠습니다..ㅎㅎㅠ MOSFET 복습 공정 과정을 알아보기 전에 공정하는 물질인 MOSFET에 대해 먼저 복습하고 넘어가봅시다! MOSFET의 구조는 위와 같고, Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor를 의미합니다. 이때 Metal Oxide Semiconductor 는 gate stack의 구조를 말하고, Field ..

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