안녕하세요! 오늘은 '반도체 소자 및 설계' 마지막 글입니다. Antenna Effect, Power, Trade offs, Reliability에 대한 내용들을 하나씩 간단히 알아보도록 하겠습니다! 다양한 층 위에 metal 배선을 연결하면, metal이 드러나 있는 상황에서 plasma 공정을 진행하게 됩니다. 이온화된 plasma가 metal 위에 축적될 수 있게 되는 상황에서 plasma 이온들이 배선을 타고 gate까지 내려가게 되면서 의도치 않은 bias가 형성될 수 있게 됩니다. 이로 인해 gate oxide가 견딜 수 없이 큰 전압이 걸리게 되면 공정 도중 breakdown이 일어나게 되는데, 이러한 현상을 antenna effect라고 합니다. anten..